芯片智能制造系统–EAP（ecm智能芯片）

Hello,大家好，今天跟大家聊聊EAP，

EAP(Equipment Automation Programming)，又叫设备自动化程序。

EAP是MES（生产制造执行系统）系统与机台设备之间沟通的桥梁，EAP通过SECS国际标准协议与机台设备之间进行数据通讯。

SECS是半导体设备的一种标准国际通信协议。EAP就是通过这个标准协议与机台设备之间通信，传输数据和发送指令，以此来远程控制设备，使其按照预先定义的流程进行生产加工，同时进行机台设备状态的监控，实现设备运行的自动化。

EAP程序实现了对FAB内机台设备的实时监控，是FAB自动化重要的控制系统。EAP程序与FAB中的机台设备紧密相关，EAP程序的设计与开发必须与生产线实际用的机台相匹配，按照生产流程的需求，区满足控制机台生产的目的。

▌EAP是CIM（Computer Integrated Manufacturing/计算机集成制造）解决方案中最底层的子系统之一，也是FAB中最重要的系统之一。FAB生产过程中，生产数据和机台状态数据都是通过EAP系统收集，然后传送给MES和相关的系统，MES再通过这些数据对产品和设备事件进行跟踪和监控。如果没有EAP程序，FAB中的CIM也就谈不上是生产的自动化。

▌EAP可以减少人为失误，主要体现在以下：

1. 避免帐料不符
2. 避免跑错批次
3. 避免选错配方
4. 检查配方参数

▌EAP可以提高生产效率，主要体现在以下：

1. 自动数据采集
2. 自动系统过账
3. 自动获取物料信息
4. 自动选择配方
5. 自动物料载入载出
6. 自动数据上传

▌EAP可以改善产品良率，主要体现在以下：

1. 异常时自动将Lot进行Hold
2. 异常时自动将机台Hold，或改变机台状态
3. 调整工艺参数

▌EAP一般和MES之间交互，然后通过通讯协议与机台设备进行交互，示意图如下所示：

备注：MES（Manufacturing Execution System/生产制造执行系统）

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